Lämmastik, tavaline gaas kiibi tootmises

Lämmastik, tavaline gaas kiibi tootmises

• Lämmastik, tavaline gaas kiibi tootmises
• Lämmastikku kasutatakse laastu valmistamisel laialdaselt, seega on selle kasutusalade tundmine ülioluline.
• I. Lämmastiku füüsikalised omadused: Keemiline sümbol: N2
• Molekulmass: 28,01 (üldiselt arvatakse, et 28)
• Erikaal: 0,967
• Keemistemperatuur: -195,8 kraadi (tavaliselt peetakse -196 kraadi)
• Välimus: värvitu ja lõhnatu
• Süttivus: mitte{0}}süttiv
• Ohutus: puhtalt lämmatav ja mitte{0}}toksiline, üldiselt ei kujuta see endast ohtu. Kuid kõrge kontsentratsioon võib põhjustada hapnikupuuduse tõttu lämbumist. Olge lekete suhtes ettevaatlik ja tagage piisav ventilatsioon.
• Reaktsioonivõime: Väga stabiilne, peaaegu mittereaktiivne. Kuid see reageerib kõrgel temperatuuril või kõrgel temperatuuril ja kõrgel rõhul, tekitades nitriide.
• Kohaldatavad materjalid: see ei ole{0}}metalle söövitav ja seda saab kasutada kõikide metallide puhul. Lämmastiku veeldamisel tuleks aga valida materjalid, mis ei ole madalal temperatuuril rabedad. Kasutatavad on peaaegu kõik materjalid, nagu plast, kumm jne.

 

II. Lämmastiku kasutusalad

(1). Lämmastiku tootmine: lämmastikku saab eraldada õhueraldusseadmete kaudu. Seda saab hõlpsasti toota suurtes kogustes ja odavalt vastavalt tehase poolt nõutavale puhtusele ning tarnida torustike kaudu.

(2). Lämmastiku kasutusalad: Puhastuslämmastikku saab kasutada lisandite ja mustuse puhastamiseks pooljuhtseadmete seest ja väljast. Puhastamine võib seadme kiireks puhastamiseks ja seadme kahjustamise vähendamiseks kasutada õhuvoolu tugevat toimet. Kaitse Pooljuhtseadmete tootmisel ja transportimisel tuleb neis olevaid materjale kaitsta. Lämmastik kui inertgaas võib mängida kaitsvat rolli. Pakendamise ja transportimise ajal kasutatakse lämmastikku seadme tihendamiseks, et vältida kahjulikke mõjusid, nagu oksüdatsioon ja korrosioon. Materjalide kuivatamiseks võib kasutada kuiva lämmastikku. Kuivatamise käigus eemaldab lämmastik sundõhuvoolu kaudu pinna- ja sisemise niiskuse. Seda kasutatakse tavaliselt mikroelektroonika, optiliste seadmete ja pulbervärvide tootmisel.

 

Pooljuhtseadmete tootmisel saab lämmastikku kasutada oksüdeerijana pinna oksüdatsiooni töötlemisel.

Lämmastik võib oma stabiilsuse ja kättesaadavuse tõttu säilitada seadme pinna ühtluse, suurendades samal ajal oksüdatsioonitõhusust ja vältides hapniku kahjulikku mõju.

 

Puhastust kasutatakse seadmete ja gaasijuhtmete puhastamiseks. Mürgseid gaase kasutavate seadmete hooldustööde tegemisel tehakse kambri järsu avamise asemel lämmastikupuhastus. Seejärel tehakse tööd alles pärast ohutuse tagamist.

 

Gaasitorustiku puhastamise järjekord on järgmine: tegelik gaas → lämmastiku puhastamine → atmosfäär (peale hooldust vastupidine järjekord). Ohutus peab olema tagatud, et vältida saastumist õhust, hapnikust või muudest gaasidest. Lahjendamisel on kaks eesmärki. Üks on termilise oksiidkile oksüdatsioonikiiruse reguleerimine, nagu seda nõuab lahjendusoksüdatsiooniprotsess. Teine on ohutuse tagamiseks seadmete heitgaaside kontsentratsiooni vähendamine. Näiteks SiH4 ja vesinikusulami heitgaaside lahjendamine vähendab ohutuse tagamiseks heitgaasi kontsentratsiooni alumise plahvatuspiirini. Alusgaase kasutatakse tavaliselt difusioonahjudes baasgaasidena. Alusgaase kasutatakse ka gaasiballoonide kontsentratsiooni reguleerimiseks, näiteks segades SiH4 20% lämmastikuga. Lekkekontrolli kasutatakse ka torustike ja C/C süsteemide lekete kontrollimiseks lämmastiku surveseadmetes.

 

Xida küttetehnoloogia: pooljuhtide heitgaaside töötlemise ohutusdilemma lahendamine, tootmise järjepidevuse ja seadmete ohutuse tagamine

Pooljuhtide tootmine tekitab suures koguses heitgaase, millest paljud on õhuga kokkupuutel söövitavad, pürofoorsed või potentsiaalselt plahvatusohtlikud. Tavaliselt lahjendatakse neid gaase heitgaaside töötlemise varases staadiumis lämmastikuga (N₂), et tagada kontsentratsiooni alumine plahvatuspiir või vähendada söövitavat mõju.
Jahedama lämmastiku segamine heitgaasiga aga kiirendab kondenseerumist ja sademete kogunemisel võivad need kaasa tuua planeerimata seisakuid. Lämmastiku kuumutamine on parem valik, kuid ainult siis, kui süsteemi ei tooda uusi lämmastikulekkeid. Xida Heating Technology saavutab selle, mis tähendab, et pooljuhtide tootjad ei pea enam tasakaalustama ohutusprobleeme väljalaskesüsteemi ummistustest põhjustatud võimalike seisakutega.

• Lekete vältimine vähendab plahvatusohtu.
• Kondensatsiooni vältimine vähendab puhastamise seisakuid.
• Kütteseadmete korrosiooni vältimine, seadmete rikke ohu vähendamine.
• Protsessi uuendused suurendavad kuumutatud gaasi läbimise vahemaad, et tagada torude ühtlane temperatuur pikkade vahemaade jooksul.
• Struktuuri uuendatakse, et vähendada üldist energiatarbimist ja säästa elektrit.